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什么是EBARA分子泵?它有那些特點?

        EBARA分子泵是EBARA公司生產(chǎn)的一種高性能真空泵。分子泵的主要組成部分包括轉(zhuǎn)子、定子和抽氣口。其工作原理是,當(dāng)分子泵開始工作時,轉(zhuǎn)子開始高速旋轉(zhuǎn),形成一個高速的氣體流動。氣體進(jìn)入分子泵后,會與轉(zhuǎn)子葉片碰撞,由于葉片間距非常小,氣體分子之間會發(fā)生多次碰撞。在碰撞過程中,氣體分子會受到葉片的沖擊和擴散,速度會逐漸減小,*終被抽取出來。

        EBARA分子泵具有許多優(yōu)點,如抽氣效率高、噪音低、運行穩(wěn)定等。此外,其結(jié)構(gòu)緊湊、安裝方便,適用于各種真空應(yīng)用場合。

        EBARA分子泵的技術(shù)參數(shù)包括流量、揚程、*大壓力、出口尺寸和葉輪尺寸等。具體來說,流量范圍在42m3/min(50Hz)至48m3/min(60Hz),揚程范圍在150m(50Hz)至220m(60Hz),*大壓力為25bar(2.5Mpa),出口尺寸為125-400mm,葉輪尺寸為165-631mm。

        在分子泵中,轉(zhuǎn)子、定子、動片、靜片、外殼、輔助軸承和高頻轉(zhuǎn)動馬達(dá)等部件都發(fā)揮著重要的作用。轉(zhuǎn)子部在通電后開始回旋加速,直至達(dá)到額定轉(zhuǎn)速。動片是分子泵轉(zhuǎn)子上的葉片,而靜片則是通過靜片固定環(huán)固定在兩層動片之間,不隨動片轉(zhuǎn)動的葉片。外殼是泵的壓力保持圈,而輔助軸承則起到保護(hù)磁懸浮軸承和承受突然掉電時保護(hù)主軸的作用。高頻轉(zhuǎn)動馬達(dá)由環(huán)行線圈通過環(huán)氧樹脂澆注而成,根據(jù)電源提供的頻率驅(qū)動轉(zhuǎn)子加速轉(zhuǎn)動。

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